制造装备
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大尺寸卷对卷连续薄膜生长设备,适用于多种柔性基底材料,基底宽幅可兼容至700mm,年产能达20000平米。该装备设计5温区独立控温 保证温度均匀性且可实现温度梯度控制。真空系统采用双组机械泵并联,本底真空可达0.01帕。配备有多路气体供应控制系统,保证高级别的供气安全。传动系统采用伺服电机加磁流体方式,速度精度达0.1mm/min。
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二维材料定点转移系统适用于石墨烯、硫化钼等过渡金属硫族化合物材料精确定点转移。高精度、高可靠性的设计及高品质的显微镜系统,可实现微小样品的精确转移。二维材料定点转移系统可根据用户的需求,进行自动版、快速升温版及手套箱环境下的版本定制。
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大单晶畴区石墨烯薄膜的快速批量转移
最大处理尺寸A3 尺寸(297*420mm) 或 8 英寸晶圆
装备优势:
10 分钟内即可实现石墨烯与生长衬底的快速无损分离
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蒙烯材料卷对卷生长装备主要用于石墨烯卷对卷产品连续大规模量产制备。该装备可兼容700mm宽幅以下织物,单次可连续生长达500m,年产能超20000㎡。装备核心零部件国产化率高,具有完全自主知识产权,具备产线放大、复制潜力,为蒙烯玻璃纤维布的大规模产业化落地提供坚实的技术支撑。
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薄膜/晶圆
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通用石墨烯薄膜最大尺寸可定制为29.7x42(cm),石墨烯覆盖度>99%,面电阻300-500 Ω/sq(Si0,/Si衬底),石墨烯质量高、无缺陷、单晶化程度高,产品性能稳定。其具有柔性、高透过率、高导电性等特点,可广泛应用于柔性显示、电子器件、传感器、超级铜、光电、生物医学等领域。
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石墨烯儿童眼部按摩仪
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通过在铜单晶衬底上外延生长得到单晶石墨烯晶圆,利用界面结合力与热应力工程消除了石墨烯的褶皱与台阶束,使其粗糙度降低至1 nm以下。
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颈部
石墨
单晶
结合力
超强
器件
相较
材料
热应力
薄膜
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可定制最大尺寸为4inch,石墨烯完整度>95%,洁净度>90%,面电阻400~600Ω/sq,可应用于GaN外延生长、光电器件等领域。
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北京石墨烯研究院是北京市最早批准、由北京大学牵头建设的新型研发机构,2018年10月25日揭牌运行。全国政协常委、北京大学博雅讲席教授刘忠范院士担任院长。
为推动研究院科研成果落地,2020年12月,北京石墨烯研究院有限公司正式启动运营,注册资本3.226亿元人民币,由中国妇女十三大代表、北京市政协委员许莉博士担任总裁。汇集大批海内外顶尖人才,旨在打造全球石墨烯领军企业,向客户提供最佳材料解决方案。
公司业务布局集石墨烯新材料与装备的设计与研发、生产与销售、检验与检测服务于一体,全面拓展新材料应用,先后荣获国家级高新技术企业、中关村高新技术企业、北京市“专精特新冠军”企业、专精特新“小巨人”企业等多个荣誉称号,并通过 GB/T19001、GB/T24001和GB/T45001体系认证。
公司先后推出一系列全球领先的石墨烯材料、规模化制备装备与工艺包,完成了蒙烯玻璃纤维、石墨烯薄膜、石墨烯晶圆、芳三纤维等多种材料从实验室到规模化批量生产,全力推动石墨烯新材料在航空航天、电子信息、新能源等领域的产业化应用。


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